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干式螺桿真空泵有那些優點

2020-05-12780


  干式螺桿真空泵由于其優越的性能,在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業首選真空獲得設備,日本在螺桿壓縮機基礎上,很早就研發出了真空泵的多頭轉子型線,并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步的開發出了等螺距、變螺距轉子型線,并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究螺桿泵的技術關鍵問題。

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  作為抽氣設備的真空泵,隨著工業需求的不同,有各種方式的真空泵,二十世紀主導這一技術范疇的產品是油光滑和密封的泵,這類泵排出油霧,嚴重地污染了環境;只要少數工業的特殊需求,才采用無油泵類或水環式泵類(濕式泵),這類泵的真空度不高,耗水耗能嚴重,有干式請求的,不得不采用繁瑣的物理、化學吸附,冷凝低溫手腕,本錢很昂貴,如膜式泵,真空度不高,抽速小,吸附泵,不只抽速小,液氮的費用很大,總之能直接排入大氣和高真空機組銜接的泵類是各有缺憾,干式泵不適合大工業應用,直到二十世紀的80年代,一種爪式泵類問世,但抽速難以做大,制造難度大、本錢高;另外還有應用多葉級數停止串聯的羅茨泵,其缺陷和爪式泵一樣。

  干式螺桿真空泵是一種容積泵,應用一對螺桿轉子在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生吸氣和排氣作用,主要應用于高純潔的真空工藝過程,真空度極高,可順應惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的才能,特別適用于電子、化工、生物醫藥、金屬加工、食品加工等范疇。

  雙螺桿真空泵工作時,由于兩個轉子相對高速轉動,轉子與轉子之間以及轉子與泵腔之間必需留有一定的間隙以免發作摩擦。而螺桿真空泵在運用過程中,排氣溫度十分高,這也招致了螺桿真空泵的溫度十分高,形成轉子和機殼變形,轉子與轉子之間以及轉子與泵腔之間的間隙會產生變化,影響抽氣效果,嚴重的會使其發作摩擦,最后燒結卡殼。

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  與現有技術相比,本適用新型具有以下優點:

  1、螺桿轉子與螺桿轉子之間以及螺桿轉子與殼體之間的間隙沿進氣端到排氣端的方向依次減小,使螺桿轉子穩定工作后有足夠的收縮空間,防止螺桿轉子卡殼,而且收縮后它們的間隙更小,氣體的走漏量更少,抽真空效果更好。

  2、螺桿轉子采用螺紋小徑均相同,螺紋大徑沿進氣端到排氣端方向依次減小的設計,既降低了螺桿轉子的加工難度,降低了消費本錢,而且在穩定工作時,螺桿轉子之間的間隙更小更平均,減少了氣體走漏。

  螺桿真空泵由于具有清潔無油、抽速大、振動小、噪聲低等優點,已成為當前大型空間模擬真空系統的首選產品。另外,為了提高真空機組的抽速和極限真空并相應的減小螺桿泵的尺寸,一般都是采用一臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯構成的二級機組或二臺羅茨泵與螺桿真空泵串聯構成的三級機組。如果您還有什么疑惑的話,歡迎咨詢我們!


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